儀器由測試臺、四探針頭、電腦、軟件等組成。
四探針電阻測試儀有常規(guī)電阻量程用于測量薄片、膜類、塊狀、棒類等材料的電導率、電阻率、方塊電阻、薄膜厚度等參數,如玻璃或陶瓷上導電薄膜(ITO)厚度或方塊電阻、硅片和半導體電阻率,薄片金屬、導電橡膠和防靜電材料電導率等。也有高電阻量程、雙電測方式、帶厚度感應器等不同組合的電阻測試儀,可據需要選用適合款式。四探針測量方式的優(yōu)點是消除了探針和樣品接觸電阻的影響。
厚度參數有通過已知材料的電阻率,通過方阻算出導電膜厚度,適合純凈材料的測試。也可直接通過亞微米級精度的厚度感應器在測電阻的同時測量出膜類材料的厚度,確保厚度和電阻測量在樣品同一位置,特別適合不均勻膜類和片類材料的測量。同時,半自動的厚度測量和記錄避免了人為誤差,能獲得更高的精度,也滿足了實驗室智能化、數據化的發(fā)展方向。這功能為國內首創(chuàng)。
運用直線或方形四探針,按改進性范德堡測量方法測試電阻率/方阻的多用途綜合測量儀器,符合GB/T 1551-2009 《硅單晶電阻率測定方法》,并參考美國 ASTM 標準??蓽y材料的電阻率、方阻及對應的環(huán)境溫度,也可測元器件的接觸電阻。
電阻測量范圍 | 0.1μΩ~1200MΩ |
電阻測試精度 | 0.02%FS |
電阻最小分辨率 | 0.01μΩ |
探針壓力 | 20~300g |
溫度測量范圍 | -10~100℃ |
功率 | 20W |
測試平臺尺寸 | 385mm(長)*249mm(寬)*102mm(高) |
除基本特點外,有雙電測功能,消除了樣品邊緣和探針間距不準帶來的誤差,量程大,更廣的測試范圍,特別適合檢測機構研究所等電阻范圍變化較大的單位使用
選配不同探頭,可測試多種材料,高耐磨碳化鎢探針探頭可測試硅類半導體、金屬、導電塑料類等硬質材料的電阻率/方阻;球形鍍金銅合金探針探頭,可測柔性材料導電薄膜、金屬涂層或薄膜、陶瓷或玻璃等基底上導電膜(ITO膜)或納米涂層等半導體材料的電阻率/方阻。換上不同測試夾具,還可對電阻器體電阻、金屬導體的低、中值電阻以及開關類接觸電阻進行測量。